當超聲波進入溶液時，會產生交變壓力。用于空化閥值的聲波在液體中傳播時會產生空化氣泡，可以顯著提高氣體從溶液到氣泡的傳質率。空化氣泡是由溶液中的微小氣核產生的，由聲波稀相的拉應力(負壓)產生。

如果空化后的拉伸應力仍然存在，時空氣泡將膨脹到其原始尺寸的許多倍。在這種情況下，空化氣泡保持球形，然后生長、振動和坍塌。當超聲波效應時，溶液中的氣體成分可以通過汽液界面“定向蔓延”進入空化泡，空化泡進入生長階段。當溶液表面的空化氣泡坍塌時，氣體從氣泡中逸出，導致脫氣。

超聲波脫氣設備的特點是泡沫是大量氣泡的集成。超聲波脫氣設備應在泡沫產生的早期階段，氣泡不是大量積累的液體消泡、除氣、溶解、混合在液體氣體中消泡、除氣。整個過程不使用任何消泡劑，完全是物理消泡，也可以稱為機械消泡。對于已經產生的表面泡沫，設備沒有明顯的效果，用消泡膜解決。

超聲波主要用于脫氣“定向蔓延”，一旦發生空化，內部仍有氣體，在一些熔化液體脫氣凈化應用中不產生空化。排出液體氣體，降低超聲波空化反應產生的氣泡阻力，提高超聲波清洗機的清洗效率。另一個影響是超聲波清洗機長時間工作會產生超聲波疲勞，降低清洗效果和效率，排氧氣功也可以消除這種超聲波疲勞。